非晶硅的制备

钜大锂电  |  点击量:0  |  2019年08月19日  

1)等离子化学气相沉积法

该法主要是采用H2稀释的硅烷气体的热分解,硅烷分解生成硅原子,

沉积在衬底材料上形成非晶硅薄膜。


太阳能电池的制备


硅片切割--去除损伤层--制绒-扩散-刻蚀

-pECVD沉积减反射层-丝网印刷上下电极

-烧结形成金属接触-分类检测-包装


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