激光蚀刻技术原理及典型应用

激光蚀刻技术技术原理

激光蚀刻的基本原理是将高光束质量的小功率激光(一般为紫外线激光、光纤激光)聚焦在极小的光点上，在焦点上形成高功率密度，使材料瞬间蒸发，形成孔、槽、槽，形成极小的功率密度。激光微纳切割、切割、腐蚀、钻孔等工艺。

激光蚀刻技术技术特征

以激光非接触方式加工，高柔性、高速、无噪声、热影响区小、可聚焦至激光波长级的极小光斑等，在打眼、划片、刻蚀、切割尺寸精度和加工质量方面，尤其是与某些材料(例如聚酰亚胺)相互作用属于“光化学作用”的“冷加工”，可获得无碳化效果的“冷加工”，尤其是与某些材料(如聚酰亚胺)相互作用属于“光化学作用”的“冷加工”，可获得无碳化效果的“冷加工”，特别是与某些材料(如聚酰亚胺)相互作用属于“光化学作用”的“冷加工”，可获得无碳化效果的“冷加工”，特别是与某些材料(如聚酰亚胺)相互作用属于“光化学作用”的“冷加工”，可获得无碳化效果的“冷加工”，特别是与某些材料(如聚酰亚胺)相互作用为“光化学作用”

激光刻蚀技术的典型应用

1）薄膜激光刻蚀应用

好处：

再现性好，功率大，材料去除速度快，无化学腐蚀污染。ITO涂层激光刻蚀机是利用激光在ITOGlass和ITOFilm表面表面进行ITO涂层刻蚀的精密设备。能在玻璃、PET、ITO镀膜、多晶膜及其它氧化物薄膜上进行各种不同尺寸的高精度、高速刻蚀，可加工多种规格的电极。特别适合手机触摸屏的电极蚀刻技术。

玻璃激光蚀刻技术，ITO。

2)太阳能电池激光划片

好处：

整体结构合理，切割速度快，精度高，功能齐全，性能指标稳定可靠，故障率低，非接触加工成品率高，适用范围广。

简单易行，24小时长时间连续工作，节能环保。

利用图形化用户界面(GUI)，人机界面友好，能实时显示切割轨迹，操作简单、直观。

可选的图像自动识别处理及定位功能。

太阳电池是一种利用光电效应或光化效应将能量直接转换为电能的装置。薄膜太阳能电池生产工艺:基底(TCO导电玻璃)-玻璃磨边-玻璃清洗-1064激光刻划-二次清洗-夹具加热预热-PECVD沉积非晶硅薄膜-冷却夹具-635激光刻划-PVD磁控溅射-635激光刻划-测试-老化-激光清洗-三次清洗-焊接极线-层压-安装框架。用于薄膜太阳能电池的激光划片，热影响面积小，划线质量好。采用无触点加工方法避免了刀片加工中产生的应力，可有效地提高硅片改片的优等品率，同时也使电池片划线质量得到了很大的提高。可选配置CCD图像处理系统，实现特殊规格电池片的精密划线。

3)激光打磨。

好处：

绿色环保，无需任何化学药品及清洁剂。

无触点清洁，无机械力，不变形，效率高，节省时间。

可以实现常规清洗无法达到的清洁效果。

也可以有选择地清洗材料表面的污染物，而不会损害材料表面。

激光具有快速无污染的特点，通过专用控制软件界面友好，可以同时完成多种激光工作。适用于非晶硅薄膜太阳电池板周围镀膜的绝缘、清除和清洗。

钜大锂电-21年锂电池定制厂家，专业为激光设备厂家提供高安全·高可靠的激光设备锂电池解决方案和产品，60+研发团队,6000+定制案例。